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从挑战到成功: 半导体巨头如何确保微工艺洁净环境
在韩国有一家全球知名的半导体芯片制造商，以其创新和多样化的产品组合而闻名。在监控半导体微环境领域面临着严峻的挑战，特别是关注小至0.3微米的颗粒物。该公司需要验证受控空间的微环境条件, 并确保没有这种大小的颗粒存在。这个微环境是在半导体加工设备中处理晶圆的空间，包括各种小型洁净区域内部，如设备前端模块(EFEM), 分拣器, 储存器, 缓冲区, 腔室和传输模块，但不仅限于传统主洁净车间的大环境。
半导体制造环境中的无尘条件
他们的目标很明确：他们想在微环境中创造无颗粒物的条件。为了做到这一点，他们正在寻找一种有效的粒子监测解决方案。
2023年，该公司的评估分析负责人向TSI寻求解决方案，以满足他们的颗粒物监测需求。TSI的专业技术团队建议客户在他们的设备运行过程中, 进行持续性监测。
实时证明，TSI AeroTrak™+远程粒子计数器7301配套解决方案，改变了韩国半导体公司的游戏规则。它使他们能够持续监测微型环境，并提供有价值的数据来验证内部条件。这个解决方案使帮助客户实现了他们的目标，确保在他们的微环境中不存在0.3微米的颗粒。
与粒子计数专业知识相互合作
这家芯片制造商选择TSI是因为TSI能够提供全面的专业知识和技术支持，这对于满足客户的特定要求至关重要。评估分析负责人说：“我们需要的合作伙伴不仅是能提供设备，还要能够提供专业知识来解决我们面临的特殊挑战，TSI的经验和技术熟练程度使他们成为我们半导体工厂的理想选择。”与TSI专家的伙伴关系显然对实现预期结果至关重要。
在考虑备选方案时，制造商最初的目标是在EFEM范围内监测更小的颗粒，小到0.1微米。最后，他们综合考量TSI专业团队的建议之后，决定选择0.2微米AeroTrak™+远程粒子计数器作为最具性价比的备选方案，以有效满足他们的监测要求。
TSI粒子计数器在半导体领域的应用
TSI 依据几十年对于粒子计数器的研发专业知识和各行业无尘车间的丰富经验，可以为半导体，电子和平板显示(FPD)制造行业的各大用户，提供各类解决方案。
TSI的产品线全面，在半导体电子行业，不仅覆盖了在线、离线手持型、便携型等多种功能性方案选择，可监控尺寸范围更是从小至10纳米、0.1微米、0.2微米、0.3微米等等各尺寸通道方案。拥有以7201、7110、 6310等产品为代表的软硬件相结合的在线监控系统，以9110、A100等代表的便携式设备。通过实时的全面监测方式，大到整个无尘车间厂房，小到每个工艺腔体内部的微环境，帮助解决用户在产品制造过程中因为微环境的各种干扰对产品良率影响的不确定性，帮助用户进行溯源，降低环境因素的影响，从而让客户能够全身心的投入到工艺的研发和改良当中，为用户节省时间成本，大大提高了用户对于良率改进的效率。
TSI®与您约2024 SEMICON China
在即将到来的 2024 SEMICON China上， TSI®将携多产线产品，从洁净室环境监测粒子计数器到洁净空间通风测试专业工具， 再到半导体行业中所使用的高效过滤器和阀门的研发以及高纯气体监测所涉及的SMPS粒径谱仪和粒子计数器。TSI® 以专业的纳米级粒子技术助力半导体行业客户迎接明天的挑战！
3月20~22日
上海新国际博览中心
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